反応装置工学ラボラトリでは、種々の素材と材料及びそれらの生産技術を反応工学の視点から研究・開発することに取り組みます。
特に、固体の表面で生じる化学過程の解析・設計・活用・最適化などを目指すと共に、それに関わる装置の開発を行っています。
主な対象としている物質は、半導体シリコン(Si)結晶と炭化珪素(SiC)結晶です。生産技術としては、化学気相堆積(CVD)法、リアクタークリーニング、エッチング、洗浄、表面汚染などです。これらに関する研究開発、技術指導・相談、が可能です。
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