★2024年8月30日WEBオンライン開講。【富士フイルム・シニアエキスパート:藤森氏】微細加工に必要なリソグラフィ技術、フォトレジスト技術の基礎から現状、今後の展望を解説する講座です。
■本講座の注目ポイント
①フォトレジスト材料開発、ナノインプリントレジスト材料開発、リソグラフィプロセス、国プロジェクトを経験している講師がリソグラフィの歴史から基礎、今後の展望までを楽しく解説してくれます
②微細加工リソグラフィとしてのEUVリソグラフィ、ナノインプリントリソグラフィについて解説します
③EUVプロジェクトのロードマップとして「High NA EUV」についても解説します