★2025年9月30日WEBオンライン開講。【産総研・ウェハプロセスチーム長:加藤氏】が、半導体前工程で重要となるSiCウェハの製造技術について解説する講座です。
■本講座の注目ポイント
半導体前工程で極めて重要なSiCウェハの製造技術について学べる講座です。パワー半導体の開発動向から、 SiC単結晶の合成・成長・欠陥制御、ウェハ加工としての切断・研削・CMP(化学的機械研磨)について解説します。高品位質で低コストなウェハを実現するための技術について、当講座で議論します。