EUVリソグラフィの基礎とレジスト材料の開発例、半導体の微細化、リソグラフィ光源の進歩、高出力EUV光源開発の課題とその進展、そしてEUV露光用フォトマスクブランクスの開発と量産化、そして次世代EUVL技術の今後の展望(High NA EUVL、Hyper NA EUVL, Beyond EUVL)、並びに技術課題と今後の展開について紹介します。
EUVリソグラフィの基礎とレジスト材料の開発例、半導体の微細化、リソグラフィ光源の進歩、高出力EUV光源開発の課題とその進展、そしてEUV露光用フォトマスクブランクスの開発と量産化、そして次世代EUVL技術の今後の展望(High NA EUVL、Hyper NA EUVL, Beyond EUVL)、並びに技術課題と今後の展開について紹介します。
カリキュラム/プログラム
【本セミナーの主題および状況・本講座の注目ポイント】
■本セミナーの主題および状況
★EUVリソグラフィの基礎とレジスト材料の開発例、半導体の微細化、リソグラフィ光源の進歩、高出力EUV光源開発の課題とその進展、EUV露光用フォトマスクブランクスの開発と量産化、そして次世代EUVL技術の今後の展望(High NA EUVL、Hyper NA EUVL, Beyond EUVL)、並びに技術課題と今後の展開について紹介します。
■注目ポイント
★次世代EUVL技術の今後の展望(High NA EUVL、Hyper NA EUVL, Beyond EUVL)、技術課題について学習、習得できる!
★EUVリソグラフィの基礎とレジスト材料の開発例について学習、習得できる!
★高出力EUV光源開発の課題とその進展について学習、習得できる!
★EUV光源システムおよび応用研究に関する新動向について学習、習得できる!
★EUVマスクブランクスの特徴と技術課題と量産化について学習、習得できる!
★次世代EUVマスクブランクスの開発ついて学習、習得できる!
講座担当:齋藤順
≪こちらの講座は、WEB上での開催のオンライン講座になります≫
【第1講】 Beyond EUVへの将来展望および目指すべき半導体業界の将来像と課題
【時間】 10:45-12:00
【講師】兵庫県公立大学法人 兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所, 特任教授 次世代EUVL研究寄附部門, PI 理学博士 渡邊 健夫 氏
【講演主旨】
半導体微細加工技術であるEUVLは、3次元のパッケージング技術と並んで重要な技術である。今後もさらなる微細加工技術が要求されており、High NA EUVLをはじめ、次世代EUVL技術であるHyper NA EUVLおよびBeyond EUVLが検討されている。講演では以上を踏まえて、半導体技術動向、EUVLの技術動向、次世代EUVL技術の今後の展望(High NA EUVL、Hyper NA EUVL, Beyond EUVL)、並びに以上の技術課題と今後の展開について紹介する。また、日本半導体復活に向けて必要な取り組みについても言及する。
【プログラム】
1.はじめ
2.IRDSおよび半導体市場動向
3.EUVLの技術課題
4.High NA EUVLに向けて
5.次世代EUVLの技術動向
5-1.Hyper NA EUVLの技術課題と今後の展望
5-2.Beyond EUVLの技術課題と今後の展望
6.まとめ
質疑応答
【キーワード】
EUVL、High NA EUVL, Hyper NA EUVL, レジスト、マスク、ペリクルなどの要素技術