【本セミナーの主題および状況・本講座の注目ポイント】

≪こちらの講座は、WEB上での開催のオンライン講座になります≫

■本セミナーの主題および状況
　ナノインプリントの世界市場規模は2022年時点で1億ドル以上と推測されており、2030年までに更に2倍以上の規模にまで成長を続けると予測されています。
　現在のナノインプリントの用途として最も普及しているのが光学系の分野で、最も期待されている用途が半導体の回路パターン形成です。ただし求められる精度や品質のハードルが高く、樹脂への塗布技術、金型との離型技術、微細な異物除去のクリーニング技術やナノレベルの補正技術など、さまざまな課題を抱えています。
　当講座では今後も発展を続けるナノインプリント技術の需要に対して、主材料となる樹脂の特性や装置を用いた評価、将来への展望として光学デバイスへの適用や研究例について解説します。

■本講座の注目ポイント
　①ナノインプリントの基礎と今後の展望（UV硬化樹脂と離型性、光学デバイスへの適用）

　②装置を用いたインプリント材料の評価

　③高屈折率硬化性樹脂の開発動向とナノインプリントを用いた光学部材の開発研究

（企画担当：川本）

【第1講】ナノインプリントの基礎と、AR/VR デバイスへの応用

【時間】 10:30-12:00

【講師】大阪府立大学　名誉教授／大阪公立大学　特選研究員／応用物理学会　ナノインプリント技術研究会　顧問／3次元ヘテロインテグレーション研究会　(3DHI)　理事　平井義彦　氏

【講演主旨】

　光ナノインプリントと離型プロセスに関するメカニズムの基礎をしっかり理解します。そのうえで、先端半導体、メタバースなどへの応用展開やディープラーニングによるプロセス・材料設計などの最新の動向についても紹介します。

【習得できる知識】
　・UVナノインプリント、離型プロセスのメカニズムに関わる物理化学
　・ナノインプリントの応用に関わる光学応用技術

【講演キーワード】
　ナノインプリント、離型、半導体応用、光導波路、回折格子

【講演のポイント】
　ナノインプリントの基礎についてシミュレーションと実験を比較しながら、成型と離型のメカニズムを理解します。
また最近の応用例として、AR/VR用グラスに用いられる傾斜型回折格子の離型や、半導体応用の動向について触れます。

【プログラム】

1.光ナノインプリントの基礎
　1.1 光ナノインプリントの原理・特徴と長短所
　1.2 樹脂の流動と充填
　1.3 UV照射とパターンサイズ
　1.4 UV硬化の基礎と材料特性　
2.AR/VRグラスの原理と高屈折材料の開発動向
　2.1 AR/VR用光導波路の構造
　2.2 ナノインプリントによる作製技術
3.離型のメカニズムとARグラス用傾斜型回折格子の離型
　3.1 離型の基本メカニズム
　　(1)破壊力学によるシミュレーション
　　(2)離型のメカニズムとレジストの密着力、摩擦力
　　(3)モールド側壁傾斜角と離型性
　　(4) 離型欠陥の低減方法
　3.2 傾斜回折格子の離型方法と欠陥予測
　　(1)垂直離型
　　(2)ピール離型
　　(3)回転離型
　　(4)ロール離型
4.ナノインプリントのメタバース、半導体応用と最新動向
　4.1 光デバイス、メタバースへの応用
　4.2 半導体への応用
　4.3 バイオ、その他への応用
【質疑応答】

【第2講】ナノインプリント装置と評価

【時間】 13:00-14:15

【講師】リソテックジャパン株式会社／大阪公立大学　ナノサイエンス研究所所長博士（工学）／大学院工学研究科客員教授　関口　淳　氏

【講演主旨】

　ナノインプリント・リソグラフィの概要、インプリント用レジスト材料、および評価技術について解説します。

【プログラム】

1．ナノインプリントリソグラフィー（NIL)技術の概要
　1.1 プロセス評価用ナノインプリント装置
　1.2 実験用熱・光対応ナノインプリント装置
　1.3 実験用熱インプリント装置
　1.4 実験用ロールTOロールナノインプリント装置
　1.5 実験用　卓上インプリント装置
　1.6 ナノインプリント用アライメント装置
2．ナノインプリント法によるモスアイ構造製作のための評価装置の開発
【質疑応答】

【第3講】光学系硬化用樹脂の開発動向と、ナノインプリント材料への応用

【時間】 14:30-15:45

【講師】三菱ガス化学株式会社　東京研究所・主任研究員　田中　博康　氏

【講演主旨】

　光学デバイスの小型高機能化やメタバースの進展により光学系硬化用樹脂への期待が高まりを見せ、とりわけ、ナノインプリント技術の展開が期待されている。
本講座では、高屈折率硬化性樹脂『LumipluS』のナノインプリントプロセスへの適用例をもとに、インプリント材料に求められる材料特性、離形・欠陥制御などのナノインプリントプロセスにおける要求事項を解説する。また、回折素子、XRデバイスなどの事例をもとに、今後のインプリントプロセスの展望についても解説する。

【習得できる知識】
　・光学デバイスに使用される樹脂材料について
　・硬化性材料の光学デバイスへの適用について
　・ナノインプリントに用いられているポリマーとそれに対する要求特性について
　・ナノインプリントプロセスにおける要求事項について
　・ナノインプリントプロセスの応用が期待されるデバイス作製について

【講演キーワード】

　UV硬化、高屈折率、回折素子、XR向け素材、メタレンズ

【講演のポイント】

　光学樹脂材料の市場から求められるナノインプリント技術について、高屈折率硬化性樹脂『LumipluS』の事例を通して解説します。
また今後ナノインプリントの応用が期待される光学デバイスについて解説します。

【プログラム】

1.光学デバイスへの樹脂材料の展開
　1.1 光学デバイスに使用される樹脂材料
　1.2 三菱ガス化学の光学材料開発
　1.3 光学デバイスへの硬化性樹脂の展開
2.ナノインプリントプロセス
　2.1 ナノインプリントプロセスの特徴
　2.2 ナノインプリント技術の展開
　2.3 インプリント成形に求められる材料特性
　2.4 微細構造賦形のための転写技術
3.光学デバイスにおけるナノインプリント技術の将来展望
　3.1 回折素子への応用
　3.2 XR向けインプリント材料
　3.3 メタレンズへの応用
【質疑応答】

【第4講】ナノインプリントを用いた光学部材の開発研究【仮】

【時間】 16:00-17:15

【講師】産業技術総合研究所　研究主幹　栗原　一真　氏

【講演主旨】

※現在、講師の先生に最新のご講演プログラムをご考案いただいております。完成次第本ページを更新いたします。

【プログラム】

視聴期間/スケジュール

ライブ配信は終了しました。

2024/03/28 17:15 に終了

詳細

受講対象者の職種/職位

本テーマに関心のあるに携わる研究開発者・技術者・事業担当者

受講レベル

初～中級者向け
※受講レベルについて

受講についての補足

※領収書をご希望の方は、ご購入後にDeliveru（デリバル）にログインをして、領収書をダウンロードしてください。

※当講座では、同一部署の申込者様からのご紹介があれば、何名でもお1人につき11,000円で追加でお申し込みいただけます (申込者様は正規料金、お2人目以降は11,000円となります)。
2名以上の場合は、ファシオ・セミナー事務局までご連絡ください。

質問方法

セミナー担当 webinar@andtech.co.jp

配布資料

なし

※資料がある場合、動画の視聴ページからダウンロードができます。
※視聴期間の終了後はダウンロードできなくなります。

修了証の発行

なし

※「あり」の場合、動画の視聴ページからダウンロードができます。
※視聴期間の終了後はダウンロードできなくなります。

提供方法

Zoom配信

講師のプロフィール

講師名

第1部　大阪府立大学　名誉教授／大阪公立大学　特選研究員／応用物理学会　ナノインプリント技術研究会　顧問／3次元ヘテロインテグレーション研究会　(3DHI)　理事　平井義彦　氏第2部　リソテックジャパン株式会社／大阪公立大学　ナノサイエンス研究所所長博士（工学）／大学院工学研究科客員教授　関口　淳　氏第3部　三菱ガス化学株式会社　東京研究所・主任研究員　田中　博康　氏第4部　産業技術総合研究所　研究主幹　栗原　一真　氏

経歴

第1部　大阪府立大学　名誉教授／大阪公立大学　特選研究員／応用物理学会　ナノインプリント技術研究会　顧問／3次元ヘテロインテグレーション研究会　(3DHI)　理事　平井義彦　氏

大阪府立大学大学院工学研究科修士課程修了 (電子工学科)

第2部　リソテックジャパン株式会社／大阪公立大学　ナノサイエンス研究所所長博士（工学）／大学院工学研究科客員教授　関口　淳　氏

1983年3月　芝浦工業大学応用化学科卒業
1983年4月　日本ケミテック入社。分析研究所に勤務
1985年4月　住友GCA社に入社。レジスト塗布現像装置のプロセス開発に従事。その後、レジスト解析装置および形状シミュレータのシステム開発に従事。
現在、リソテックジャパン（株）専務取締役

2019年4月～　立命館大学客員教授
2020年4月～　大阪府立大学客員教授・大阪市立大学客員教授
2022年4月～　大阪公立大学　客員教授

2000年　東京電機大学にて工学博士
応用物理学会会員。高分子学会会員

第3部　三菱ガス化学株式会社　東京研究所・主任研究員　田中　博康　氏

第4部　産業技術総合研究所　研究主幹　栗原　一真　氏

ナノインプリントにおける樹脂設計と離型性・欠陥制御の向上、光学部材への展望～高屈折率硬化性樹脂の開発、インプリント材料の装置評価、AR/VR/回折格子への応用展開～

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講師のプロフィール

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ナノインプリントにおける樹脂設計と離型性・欠陥制御の向上、光学部材への展望 ～高屈折率硬化性樹脂の開発、インプリント材料の装置評価、AR/VR/回折格子への応用展開～

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